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最后更新：2013-06-06
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生產(chǎn)企業(yè)：北京華林嘉業(yè)科技有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹
顯影清洗機
適用對象：硅片 、藍寶石基片，2-12inch，2-4 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
適用產(chǎn)業(yè)：半導體照明（LED）、半導體材料、半導體分立器件、集成電路、MEMS、有機發(fā)光二級管（OLED）等；
控制模式：手動控制模式、自動控制模式；
制程應用：濕法清洗顯影制程；
PSS襯底（SPM）清洗機
產(chǎn)能要求： GaN工藝 150000片/月和PSS工藝 105000片/月，共計255000片/月（設計機臺GaN工藝和PSS工藝各有1道，按照25分鐘/run,50片/run。產(chǎn)能共計270000片/月,按照22小時/天， 26天/月計算）滿足要求 ；
藥液種類：超聲波：去光阻液或ITO溶液；511溶液（H2SO4:H2O2:H2O=5:1:1）；稀HCl溶液（HCl:H2O=1:5） ；
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| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2013-05-23
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