產(chǎn)品詳細(xì)介紹
TCS208F采用先進(jìn)的MEMS加工技術(shù)生產(chǎn)，利用被測組份和參考?xì)怏w的熱導(dǎo)系數(shù)不同而響應(yīng)的濃度型傳感器。產(chǎn)品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護(hù)簡單等優(yōu)點。可廣泛應(yīng)用于天然氣，CH4、H2，CO2，CO，SF6，Xe，He，NH3等氣體成份檢測，也可用于測量非常小的氣體容積變化。
測量精度高
靈敏度高
集成溫度補償，漂移小
體積小，響應(yīng)速度快
可以測量微小的氣體容量
高性價比
TO8封裝，抗沖擊能力強
詳細(xì)介紹：
1. 最大限值
|
|
最小
|
典型
|
最大
|
單位
|
|
熱功率P（Rm1+Rm2）：
|
—
|
—
|
30
|
mW
|
|
測量溫度Tm
|
—
|
—
|
180
|
°C
|
|
環(huán)境溫度
|
-20
|
—
|
+85
|
°C
|
|
氣體壓力（1）
|
—
|
—
|
200
|
bar
|
注：由于膜的熱時間常數(shù)短，短時間的加過高的熱功率會毀壞傳感器。
2. 參數(shù)說明：
|
|
最小
|
典型
|
最大
|
單位
|
|
電阻，Rm1，Rm2（Tm=25°C）
|
92
|
100
|
115
|
Ω
|
|
電阻，Rt1，Rt2
|
220
|
240
|
275
|
Ω
|
|
商，Rtx / ( Rm1+Rm2 )，x∈{1,2}
|
1.13
|
1.2
|
1.27
|
1
|
|
阻抗差，Rm1 - Rm2
|
-2.0
|
—
|
+2.0
|
Ω
|
|
α=溫度系數(shù)，( Rm, Rt ) | 20 - 100°C
|
4.8（2）
|
5.5
|
5.9
|
10-3·K-1
|
|
G =幾何系數(shù)（3）
|
—
|
3.6
|
—
|
mm
|
|
τm =膜的熱時間常數(shù)
|
—
|
<5
|
—
|
ms
|
|
τdiffusion =氣體交換的時間常數(shù)
|
—
|
<100
|
—
|
ms
|
|
漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2}
|
—
|
0.001
|
0.01
|
%/week
|
|
散射結(jié)構(gòu)的體積
|
—
|
0.2
|
—
|
mm3
|
|
保持干凈的周圍環(huán)境空間大小
|
—
|
100
|
—
|
mm3
|
|
基礎(chǔ)材料
|
硅,采用蝕刻技術(shù)獲得微觀結(jié)構(gòu)
|
|
尺寸結(jié)構(gòu): 包括底座
不包括底座
|
3mm × 3mm × 1mm
|
|
13mm Ø × 15.4mm
|
|
暴露在空氣中的材料
|
Si, SiOxNy, 金, 環(huán)氧材料
|
注釋: (1) 根據(jù)供應(yīng)商的說明書對于適當(dāng)?shù)脑O(shè)備提供的壓力參數(shù)
(2) α的最小值只適用于與低規(guī)格電壓輔助源結(jié)合的情況. 產(chǎn)品會不斷的改良使它更接近于DIN 43760的規(guī)格.
(3) 因數(shù)G是由內(nèi)部的傳感器的機構(gòu)決定的.
傳感器的機械測試:
振動: 符合IEC 68-2-6 附錄B (1982) 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1階/分鐘
沖擊: 符合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),徑向和軸向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms. |
在線客服
與企業(yè)聯(lián)系時請告知該信息來自教育裝備網(wǎng)！
